半导体cvd设备是什么？半导体cvd设备工作原理？

来源：中穆青年网
时间：2023-06-01 16:20:38

半导体cvd设备是什么?

半导体cvd设备是指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。

它的作用是可以是某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能! PVD基本方法：真空蒸发、溅射、离子镀(空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀)

半导体cvd设备工作原理?

CVD是一种化学反应过程，其基本原理是将一种或多种气体(称为前驱体)通过加热使其分解，产生反应生成物，并在半导体表面沉积。CVD反应涉及许多参数，包括前驱体浓度、反应温度、反应压力、反应时间等。CVD可以分为热CVD和等离子体增强CVD(Plasma Enhanced CVD，简称PECVD)两种类型。

热CVD是最早开发的CVD技术，其原理是通过加热将前驱体分解，产生反应生成物，再在表面沉积。热CVD可以分为低压CVD(Low Pressure CVD，简称LPCVD)和大气压CVD(Atmospheric Pressure CVD，简称APCVD)两种类型。LPCVD常用于生长单晶硅、多晶硅、氮化硅等材料，而APCVD则常用于生长氧化铝等薄膜。

PECVD则是通过在反应室内形成等离子体(Plasma)，使前驱体更容易分解并增加反应速率。PECVD通常适用于生长氮化硅、氮化铝、二氧化硅等材料。

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